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產品詳情

三維表面測量儀/三維表面形貌儀NanoFocus2000(納米級)

  • 如果您對該產品感興趣的話,可以
  • 產品名稱:三維表面測量儀/三維表面形貌儀NanoFocus2000(納米級)
  • 產品型號:NanoFocus2000
  • 產品展商:美國3V
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簡單介紹

三維表面測量儀/三維表面形貌儀NanoFocus2000(納米級)是用于表面結構測量和表面形貌分析的一款檢測設備,;三維表面測量儀/三維表面形貌儀NanoFocus2000(納米級)測量精度重復性達到世界較高水平;關鍵硬件采用美國、德國、日本等;配備進口第三方校準標準件 高性價比微觀形貌測量設備;迅捷、高效的上等售后服務

產品描述

三維表面形貌儀 采用了**光學系統,可通過非破壞觀察法生產高畫質的圖像并進行**的3D測量,可以滿足不同樣品的觀測需求

 

NanoFocus2000三維表面測量儀光學輪廓儀/三維表面形貌儀/三維表面輪廓儀(納米級)是用于表面結構測量和表面形貌分析的一款檢測設備

采用垂直掃描白光干涉和移相干涉技術,實現對樣品表面粗糙度、臺階高度、關鍵部位的尺寸及其形貌特征的納米級三維精密測量。廣泛應用于半導體工藝、航空航天、太陽能電池工藝、材料表面工程、MEMS、超精密加工等領域。


三維表面測量儀/三維表面形貌儀NanoFocus2000(納米級) 產品特點:

測量精度重復性達到世界較高水平

關鍵硬件采用美國、德國、日本等

配備進口第三方校準標準件

高性價比微觀形貌測量設備

迅捷、高效的上等售后服務

 

覆蓋范圍廣

兼容多種測量和觀察需求

保護性

非接觸式光學干涉測量

可操作性

“一鍵式”操作更簡單、高效

智能化

特殊形狀智能計算特征參數

個性化

定制化測試報告

 

NanoFocus2000三維表面微觀形貌檢測儀主要由精密載物臺、照明系統、光學干涉成像系統、實現移相運動的微位移系統、圖像采集系統及圖像數據處理系統等組成。整個檢測儀放置在氣浮抗振平臺上。載物臺用于安放被測件,同時通過傾斜和XY二維平移調整使被測面**定位于感興趣的區域;光源及照明系統提供給被測面均勻又充分的反射式照明;干涉成像系統采用Mirau干涉物鏡結構獲取被測表面干涉圖像;采用壓電陶瓷傳感器(PZT)實現微位移控制;通過CCD與自主開發的軟件系統采集并處理干涉圖像,獲得被測面的相位信息進而得到表面輪廓。

 

應用領域:半導體工藝、MEMS器件表征、精密機械加工、LED、太陽能、生物醫學等。

 

三維表面測量儀/三維表面形貌儀NanoFocus2000(納米級) 主要指標:

?    CCD分辨率:像素1280x960

?    測試模式:PSI + VSI 檢測模式

?    縱向分辨率:<0.1nm 

?    RMS重復性:<0.01nm,

?    臺階測量:準確度≤0.75

?    臺階高重復性≤0.1%,

?    高清晰無限遠成像系統,白光高效LED,光譜濾光

?    Nikon干涉物鏡配置2.5x,5x10x20x,50x

?    200mm手動樣品臺 (XY高精度)+ 傾斜±

 

三維表面測量儀/三維表面形貌儀NanoFocus2000(納米級) 分析及控制軟件:

?    三維分析處理迅速,結果實時更新

?    縮放、定位、平移、旋轉等三維圖像顯示

?    自主設定測量閾值,三維處理自動標注

?    測量模式可根據需求自由切換

?    可創建簡單工作流程,簡化重復工作

?    三維圖像支持高清打印

?    可進行軟件在線升級和遠程支持服務

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